中芯实验室具有丰富的气路施工经验，根据客户需要及实验室现场状况，为客户提供实验室气路管道、实验室气体管路工程、气体管路系统的设计施工，包括实验室气路、实验室气路管道、实验室气体管路工程、工业气路、气体管路、高纯气体、各类特气、实验室集中供气系统的设计，产品提供、安装保压等。

气路系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易燃易爆气体，如氢气、乙炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。根据业主提供的气瓶室位置、气体种类、用气点位置以及用气压力以及流量综合排布管路走向，严格核算气路管径、合理设置检修阀与截止阀。

实验室气路工程设计规范参照：

《工业金属管道工程施工及验收规范》 GB50235-2010

《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》 GB50236-2011

《氢气站设计规范》 GB50177-2005

《氢气使用安全技术规范》 GB4962-2008

《工业金属管道设计规范》 GB50316-2000

《乙炔站设计规范》 GB50031-91

《压缩空气站设计规范》 GB50029-2014

《建筑设计防火规范》 GB50016-2014 　

实验室气路工程优点：

在实验室中，常采用集中供气的方式输送高纯气体，有以下优点：

1、保持气体纯度

专用气瓶均配有冲洗阀，以排除每次更换气瓶时引入的杂质，确保了管路终端气体的纯度。

2、不间断气体供应

气路控制系统可以手动或自动方式在气瓶之间进行切换，以保证气体的连续供给。

3、低压警示

当气压低于警报限时，报警装置可自动启动报警。

4、气体压力稳定

系统采用两级减压(一级由供气控制系统调节，二级由使用点的控制阀调节)方式供气，可得到非常稳定的压力。

5、高效率

通过供气控制系统，可充分使用钢瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本。

6、操作简便

所有气瓶均集中在同一位置，减少了搬运安装等操作，更节约时间及成本费用。

7、减少气瓶的租金

采用中央供气系统，可减少对气瓶数量的要求，从而节省气瓶的租用和购买成本。

8、减少分子筛损耗

控制气体纯度可有效地减少数派对分子筛的使用量(节约成本)。

9、无气瓶在实验室中

采用中央供气系统意味着实验室中没有气瓶装备，有如下好处：

---提高安全性。气瓶可能倒地而导致损坏或伤害。

---提高安全感。气瓶可能导致气体泄漏、火灾等危险情况。

---节省空间。从实验室移走气瓶可空出更多的实验空间。

10、其它好处

---降低控制阀的损坏和丢失率。

---缩短气阀与仪器间的连接管路的长度，更为方便。

实验室气路工程的整体要求：

1， 气路系统主要应用于处理高纯度气体，或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是真正的针对实验室的气路系统。主要应用在:实验室、电子微电子、石化、太阳能、分析仪器、电厂核电、生物制药、质量监督局、学校科研、原子吸收光谱法、废气分析、食品包装、近海行业、医用/工业激光行业等高科技领域。

2，实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。

3，每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管(BA级)路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。所有减压器都需要连接一条通出气体存藏区的排气管路。易燃、氧化气体排气管路不能并在一起。

实验室气路管线的要求：

1，所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管(BA级)组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。

2，气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3，易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M;交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。

4，压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。

5，高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6， 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7，引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。

8，每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

9，不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。

10，供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。

实验室气路工程验收标准：

1，外观检查：

--- 管道走线要横平竖直；管道均固定牢固

--- 管道外表面无明显破损；

--- 各个阀件无明显破损。

2，系统耐压试验：

如果管道冲入压力后发生形变（如鼓泡、扭曲、膨胀等现象）即说明此系统无法在此压力下工作，如果长时间在此工作压力下，系统会在形变位置爆裂，造成人员财产伤害。本实验是为了检验管道系统耐压性能的好坏，确保系统的安全可靠性。

为了保证实验过程中不污染系统环境，故使用高纯氮气作为实验气体。

实验方法：系统冲入高纯氮气至0.8Mpa，关闭所有阀门，经过24小时后，系统中不得有任何形变产生。

3，气密性实验：

管道系统冲入气体后，如果系统存在漏点，由于系统内的气体不断流失，而系统的体积却没有变化，经过一段时间后，系统压力必然会下降（有时也要考虑环境温度造成的影响）。

由于此检测方法简单操作简便、成本较低、检测结果准确且稳定可靠，适用于中小管道系统的气密性检测。

实验方法：系统冲入高纯氮气至0.8Mpa，关闭所有阀门，经过24小时后，系统的压力变化率＜1%。